最終更新日:
2022-11-24 11:24:43.0
超高ガイド精度を誇る！最大位置決め／スキャニングレンジが35μm、超高速セットリングタイムと、直進性が非常に高い
極めて精密なP-752シリーズ高速ナノポジショニングステージは、
最大位置決め／スキャニングレンジが35μm、超高速セットリングタイムと、
直進性が非常に高いことが大きな特徴です。
【特徴】
○分解能0.1nm、高速応答
○ストローク～35μm
○静電容量センサーによる高リニアリティ
○フレクシャガイドにより摩擦のない直進性の高い動きを実現
○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命
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基本情報
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| 用途／実績例 | 応用例 ・ディスクドライブ検査 ・各種計測 ・ナノポジショニング ・走査型顕微鏡 ・フォトニクス／光集積回路 ・干渉計 ・バイオテクノロジー ・マイクロマニピュレーション |
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