最終更新日:
2022-11-24 11:26:35.0
振れを極限まで抑える、センター開口部付き高ダイナミックシステム。100 x 100μmのリニアストロークを実現します。
P-734高ダイナミックXYピエゾナノポジショニングステージは、
サブナノメートルの分解能と平坦度の高い動きで、
100 x 100μmのリニアストロークを実現します。
【特徴】
○表面形状解析および走査型顕微鏡に最適な超精密軌道制御
○パラレル制御／計測による応答性の向上／多軸の精密制御
○ストローク：100 x 100μm、56 x 56mmのセンター開口部
○静電容量センサーにより分解能0.4nmを実現
○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命
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基本情報
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| 用途／実績例 | 応用例 ・走査型顕微鏡 ・各種計測／干渉計 ・半導体試験 ・マスク／ウェハー位置決め ・画像処理／安定化 ・バイオテクノロジー ・マイクロマニピュレーション ・ナノポジショニング |
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