最終更新日:
2022-11-24 17:41:52.0
長いスキャニングレンジ、位置の直接測定。最大8mradの回転レンジ
P-587.6CDは、ピエゾフレクシャ駆動に基づく、
独自の高精度6軸スキャニング／ポジショニングシステムです。
【特徴】
○表面計測について、6軸すべてのスキャニングと位置決めが可能
○リニアストローク800 x 800 x 200μm
○最大8mradの回転レンジ
○パラレル制御／計測構造による応答性の向上／多軸の精密制御
○静電容量センサーでのダイレクト計測により優れたリニアリティを実現
○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命
○摩擦のない精密フレクシャガイドシステム
○6軸すべてのアクティブ軌道制御
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基本情報
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| 用途／実績例 | 応用例 ・干渉計 ・各種計測 ・ナノインプリント ・半導体試験 ・半導体製造 |
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