最終更新日:
2022-11-24 11:26:16.0
高精度XY(Z)スキャナシリーズ（開口部付き）。高速かつ高精度のナノポジショニング／スキャニングシステムです。
P-733 XYおよびXYZピエゾ駆動ステージは、
高速かつ高精度のナノポジショニング／スキャニングシステムです。
【特徴】
○ストローク：XY軸方向に100 x 100μm、高さ方向に～10μm
○静電容量センサーにより分解能～0.1nmを実現
○直動式の高速バージョン
○真空対応および非磁性バージョン
○パラレル制御によるダイナミクスの向上／多軸の精密制御
○パラレル計測によるアクティブ軌道制御
○摩擦のない精密フレクシャガイドシステム
○透過光アプリケーションに適した50 x 50mmのセンター開口部
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基本情報
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|---|---|
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| 型番・ブランド名 | P-733.2・P-733.3 XY(Z)ピエゾナノポジショニングステージ |
| 用途／実績例 | 応用例 ・画像処理／安定化 ・走査型顕微鏡 ・表面形状解析 ・バイオテクノロジー ・半導体試験 ・マスク／ウェハー位置決め ・マイクロマニピュレーション ・高平坦度／直進度のナノポジショニング |
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