最終更新日:
2022-10-28 14:48:04.0
高速スキャニング＆ポジショニング！基準となるレベルのリニアステージ
PIMag リニアモーターステージ『V-52X』は、基準となるレベルのリニアステージです。
磁気直接駆動によるリニアポジショニングステージは、
駆動系の中で大幅に機械部を省略しており、駆動力はモーションプラットフォームに直接作用します。
高精度のベアリングと共に移動の正確性を高め、製品寿命を長くすることができます。
PIMag リニアモーターステージには、リファレンスクラスの「V-551」もございます。
【特長】
■高速スキャニング＆ポジショニング
■移動範囲 5mm、10mm、20mm
■数十Hzまでの周波数スキャニング
■最大速度 250mm/s
■クロスローラーベアリングによる最高の精度
詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【主な技術データ】
[動作及び位置決め]
■駆動軸：X
■移動範囲[mm]：V522.x:5／V524.x:10／V528.x:20
■内蔵センサ：光学、インクリメンタル
■センサー調整[nm]：10
■最小インクリメンタルモーション[nm]：20
■一方向再現性[nm]：20
■基準点スイッチ再現性[μm]：<1
■ピッチング[μrad]：±50
■ヨーイング[μrad]：±50
■リニアリティ[μm]：0.5
■平面度[μm]：0.5
■速度[mm/s]：250
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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| 用途／実績例 | 【アプリケーション例】 ■産業および研究、計測、光学、半導体やフラットパネルディスプレイ製造における 高精度スキャニング ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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