最終更新日:
2022-11-24 11:05:53.0
小型パッケージながら大きな偏向角が可能!歪みセンサによる高リニアリティ!幅広い温度範囲に渡り、 ダイナミクスと位置の安定性を実現
『S-335』は、小型パッケージながら、大きな偏向角が可能な
高速チップ・チルトピエゾミラーステージです。
独立駆動の2ペアのピエゾアクチュエータにより、幅広い温度範囲に渡り、
ダイナミクスと位置の安定性を実現。
また、内蔵されている高分解能のフルブリッジ歪みゲージセンサ(SGS)が、
絶対位置制御、すぐれた再現性を可能にします。
【特長】
■チップ/チルト角35mrad、光偏向角70mrad(~4°)
■歪みセンサによる高リニアリティ
■ダイナミックモーションと高速ステップアンドセトリングの高い共振周波数
■パラレルキネマティック設計によるダイナミクスの向上
■小型パッケージながら、大きな偏向角が可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【その他の特長】
■すぐれた動き特性による大きなチップ/チルトレンジ
■サブマイクロラジアンの分解能
■高い信頼性と長寿命
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯 | お問い合わせください |
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用途/実績例 | 【用途】 ■画像処理 ■インターレーシング、ディザリング ■レーザースキャニング/ビームステアリング ■光学 ■光学フィルター/スイッチ ■走査型顕微鏡 など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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