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高速チップ・チルトピエゾミラーステージ『S-335』

最終更新日: 2022-11-24 11:05:53.0
小型パッケージながら大きな偏向角が可能!歪みセンサによる高リニアリティ!幅広い温度範囲に渡り、 ダイナミクスと位置の安定性を実現

『S-335』は、小型パッケージながら、大きな偏向角が可能な
高速チップ・チルトピエゾミラーステージです。

独立駆動の2ペアのピエゾアクチュエータにより、幅広い温度範囲に渡り、
ダイナミクスと位置の安定性を実現。

また、内蔵されている高分解能のフルブリッジ歪みゲージセンサ(SGS)が、
絶対位置制御、すぐれた再現性を可能にします。

【特長】
■チップ/チルト角35mrad、光偏向角70mrad(~4°)
■歪みセンサによる高リニアリティ
■ダイナミックモーションと高速ステップアンドセトリングの高い共振周波数
■パラレルキネマティック設計によるダイナミクスの向上
■小型パッケージながら、大きな偏向角が可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報

【その他の特長】
■すぐれた動き特性による大きなチップ/チルトレンジ
■サブマイクロラジアンの分解能
■高い信頼性と長寿命

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 【用途】
■画像処理
■インターレーシング、ディザリング
■レーザースキャニング/ビームステアリング
■光学
■光学フィルター/スイッチ
■走査型顕微鏡 など

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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