最終更新日:
2022-11-24 11:09:08.0
内蔵のインクリメンタルエンコーダーは最大4μ radの分解能!精密な位置コントロールを行います
『U-651』は、精密回転ステージにPILine超音波ピエゾモーターを
採用しており、このモーターがセラミック製摩擦リングに作用して
プラットフォームを駆動させるPILine 高速・薄型回転ステージです。
直接駆動方式により、ステージの小型化と薄型が可能になりました。
内蔵のインクリメンタルエンコーダーは、最大4μ radの分解能で、
精密な位置コントロールを行います。
【特長】
■薄型でわずか14mmの高さ
■分解能が最大4μ radのダイレクト位置測定
■最高速度540°/秒
■両方向の回転で最大0.3Nmのトルク
■開口部の直径は36mm
■真空対応タイプ(10-6pha)オプションであり
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【モデル】
■U-651.03/03V
■U-651.04/04V
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用途/実績例 | 【アプリケーション例】 ■研究および製造業 ■マイクロマニビュレーション ■オートメーション ■光計測学 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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