最終更新日:
2022-11-24 17:52:17.0
1枚の薄型プラットフォームで、3軸動作可能な高精度エアベアリングステージをリリース！
PI社は、エアベリング位置決め製品を拡充しています！
パラレルキネマティック方式設計による
「A-523型：エアベアリング Z軸、チップ/チルトの3軸駆動ステージ」をリリースしました。
薄型設計で3軸の超高精度位置決めを実現
摩擦のないモーションプラットフォーム
最高の性能、品質、寿命を提供
【特徴】
・トラベルレンジ： Z軸±2.5 mm、θX, θY軸 ±1°
・耐荷重：8 kg
・プラットフォーム：直径 250 mm
・高さ：60 mm
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基本情報
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|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | PI (Physik Instrumente)社・A-523 |
| 用途／実績例 | ウェーハ検査 ファイバー位置決め 光学系位置決め フラットスクリーン検査 マスクレスリソグラフィー マイクロLED製造 などの高精度アプリケーション |
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