コーティングによる長寿命化でコストメリット創出！半導体マスクのことなら竹田東京プロセスサービスへ。
【適用マスクとそのメリット】
■クロムガラスマスク…防汚性・清掃性の向上
■エマルジョンガラスマスク…耐久性向上(膜面保護・擦傷防止)
■フィルムマスク…耐久性向上(ESD対策)
【コーティングの特徴】
◆透過率（波長：365nm）…95％以上(未コートガラスとの相対値)
◆UV照射耐性（10,000J/cm2照射）…低下なし
◆密着性（碁盤目試験）…剥がれなし
◆耐水性（純水で浸漬10分）…変化なし
◆耐溶剤性（アセトン・IPAで浸漬10分）…変化なし
◆耐薬品性（アルカリ液(希釈5%)・酸液(希釈5%)で10分浸漬）…変化なし
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■コート膜厚（nm）：10
■表面硬度（H）：4
■離形性（N/cm）：0.75
■耐溶剤性：IPA/アセトン ラビング(200回)、浸漬(24H)試験後の観察で影響なし
■接触角：値：113.7°
※上表以外にも、厚膜コートなどのラインナップがございます。
ご要望に応じて柔軟に対応しますので、是非ご相談ください。
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■表面硬度（H）：4
■離形性（N/cm）：0.75
■耐溶剤性：IPA/アセトン ラビング(200回)、浸漬(24H)試験後の観察で影響なし
■接触角：値：113.7°
※上表以外にも、厚膜コートなどのラインナップがございます。
ご要望に応じて柔軟に対応しますので、是非ご相談ください。
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| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 |
【用途】 ■PWB・FPC・電子部品等のパターン原版 ■キャリブレーションプレート(測定・装置の調整)（クロムガラスマスクのみ） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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