最終更新日:
2024-03-04 13:42:54.0
次世代のプロセスに対応し、ボイドレスを実現するバッチ式真空加圧リフロー
『Model 5100』は、SST Vacuum Reflow Systems社製の
バッチ式真空加圧リフロー装置です。
高精度に昇温・降温設定をオート制御可能。
ユニークな設計のIRヒーターによりプロセスエリアの温度フィードバック
制御をしながらプロセスエリア全体を均一に加熱します。
マイクロエレクトロニクスパッケージや、電子部品のフラックスレスで
ボイドレスはんだ付けの量産に適しています。
また、RFパワーデバイス、水晶デバイス、イメージセンサ等のガラス金属接合や航空宇宙やハイエンド産業向け共晶接合を用いた気密封止、真空封止、リッド封止でも多くの実績がございます。
【特長】
■フラックスフリー・ボイドフリーを実現
■最高温度 500℃
■真空度レベル 10-5torr（10-3Pa）
■最大チャンバー圧力レベル 40psig（3.7bar、0.37Mpa）
■正確な加熱・冷却コントロールを実現
■温度・真空・加圧を好適に制御可能なシステムを搭載
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基本情報
【仕様（抜粋）】
■装置寸法：108(W)×86(D)×104(H)cmモニタ含む
■重量：455kg
■電源：三相208-240V 50/60Hz 50A
■制御温度：100～500℃
■加熱エリア：305×305mm
■チャンバー深さ：99mm
■プロセスガスライン：N2（オプション Ar He,フォーミングガス）
蟻酸対応システム（オプション）
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