株式会社テクノビジョン 本社

UV(紫外線)オゾン洗浄装置| UV-208/UV-312

最終更新日: 2023-04-28 18:15:35.0

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UV光源に高密度グリッド形状の低圧水銀ランプを採用

紫外線オゾン洗浄装置は、特定波長の紫外線を照射しオゾン(O3)を生成、その生成したオゾンを利用し有機化合物を酸化・分解させることで、 ワーク表面の有機物汚染の除去、表面改質を行うUV洗浄装置です。

テクノビジョンの提供する紫外線(UV)オゾン洗浄装置UV-208、UV-312は、UV光源に高密度グリッド形状の低圧水銀ランプを採用し、 ワーク全エリアを均一に照射することができ、複雑な機構を必要としない、シンプルなドライ洗浄装置です。 ファイナル洗浄として威力を発揮します。

■主な特長
・高密度UVグリッドランプを使用。
・ワーク面に対して照射が均一。
・省スペース、コンパクト設計。
・シンプルなユーティリティー。
・両面洗浄、片面洗浄の対応が可能。
・簡単操作、セーフティー機能内蔵。
価格情報 -
価格帯 100万円 ~ 500万円
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 Technovision UV-208/312
用途/実績例 ■主な用途
・半導体ウェハー、フォトマスク、ガラス基板、光学部品の洗浄
・樹脂部品の表面改質
・接着、塗装、印刷、蒸着、はんだ等の密着性の向上
・ワーク表面のヌレ性改善

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