最終更新日:
2020-02-28 16:25:45.0
光学用の多層膜を高均一かつ再現性に優れた成膜を行う事を目的に開発！
当社では、独FHR社の『Star.500-EOSS(R)』を取り扱っております。
『Star.500-EOSS(R)』は、光学フィルター成膜用として設計された
マグネトロンスパッタシステムです。
成膜用のパーティクルを最小限にするためスパッタアップの方式を採用。
200mm径までのフラット並びに曲面の基板まで対応しており、
基板加熱機構も組み込みできます。
【特長とメリット】
■傑出した光学多層膜の再現性
■優れた膜厚均一性
■シリンダー型スパッタカソードとスパッタアップとの組み合わせによる
膜質の改善と欠陥の無い成膜
■円筒型ターゲットによる長寿命ターゲットライフと
成膜レート変動の最小化
■完全に自動化されたプロセス制御
※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
基本情報
【主要アプリケーション】
■反射防止膜
■バンドパスフィルター
■エッジフィルター
■ノッチフィルター
■誘電体ミラー
■ダイクロミックミラー
■ビームスプリッター
■偏光フィルター
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