ティー・ケイ・エス株式会社

イオンビームエッチング・ミリング(IBE)装置

最終更新日: 2024-03-18 13:10:00.0
高レート・高信頼性を実現した生産用イオンビームミリング装置

AVP Technology社製イオンビームエッチング装置はICPイオンソースを搭載した高均一・高エッチングレート、かつ稼働再現性・安定性に優れた製造装置です。
他社IBE装置に較べ卓越した制御システムにより、製造設備に必須である安定稼働を実現しています。
最新の駆動機構によりレイテンシー時間を最小限に押さえて生産性を改善しています。





基本情報

特長
最新設計のグリッドによる8インチ基板への均一なエッチング
イオンソース冷却機構の最適化による高レートエッチングの連続運転改善
基板保持部の傾斜機構をダイレクト駆動方式より高速化
最新OSの採用と制御システムの改善による装置安定稼働
他社製プロセスモジュールをドッキングできるフレキシブルなソフトウエア構成

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 AVP Technology IBE350
用途/実績例 主なアプリケーション
・PZT膜 エッチング・ミリング
・微細加工・パターニング・成形
・通信およびマイクロ波コンポーネント
・ハードディスクドライブ、MRAM、その他の磁気デバイス
・光学センサー
・MEMS回路とセンサー

詳細情報

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製品仕様

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