最終更新日:
2024-03-18 13:10:00.0
高レート・高信頼性を実現した生産用イオンビームミリング装置
AVP Technology社製イオンビームエッチング装置はICPイオンソースを搭載した高均一・高エッチングレート、かつ稼働再現性・安定性に優れた製造装置です。
他社IBE装置に較べ卓越した制御システムにより、製造設備に必須である安定稼働を実現しています。
最新の駆動機構によりレイテンシー時間を最小限に押さえて生産性を改善しています。
基本情報
特長
最新設計のグリッドによる8インチ基板への均一なエッチング
イオンソース冷却機構の最適化による高レートエッチングの連続運転改善
基板保持部の傾斜機構をダイレクト駆動方式より高速化
最新OSの採用と制御システムの改善による装置安定稼働
他社製プロセスモジュールをドッキングできるフレキシブルなソフトウエア構成
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
型番・ブランド名 | AVP Technology IBE350 |
用途/実績例 | 主なアプリケーション ・PZT膜 エッチング・ミリング ・微細加工・パターニング・成形 ・通信およびマイクロ波コンポーネント ・ハードディスクドライブ、MRAM、その他の磁気デバイス ・光学センサー ・MEMS回路とセンサー |
詳細情報
製品仕様
お問い合わせ
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