株式会社ワイ・ドライブ

比類なき高視野・高分解能な干渉型3Dレーザー走査顕微鏡

最終更新日: 2018/02/03

  • カタログ

他に比類なき高視野・高分解能を実現した、干渉型3Dレーザー走査顕微鏡(視野域:30x50mm・分解能:50nm)

レーザ走査を用いた初めての干渉計測
 光沢紙程度の反射で干渉縞が出現。干渉縞で50nmの変化をとらえます
●倒立型レーザ走査干渉計(型番:LSMi-7000)
  サンプルをガラス面に置けば、簡単に干渉縞計測可能。
  走査範囲は30mm×50mm、モニター上で拡大観察可能
  セラミックスなどの細い傷、研磨不良、欠けなどが検査可能
  干渉縞解析ソフトはオプション
●円筒用レーザ走査干渉計(型番:LSMi-7500)
  円筒の全面で干渉縞を観察可能、円筒の精密検査が可能
●正立型レーザ走査干渉計(型番:LSMi-8000)
  非接触で微細な干渉縞計測可能。
  交換レンズは、5mm、10mm、26mm走査レンズ、特注可能
  通常の共焦点レーザ走査イメージャとしても使用できます

これらを応用展開した機器
超広視野共焦点型・高分解能1μm 3D‐レーザ走査イメージャ
5×50mmの範囲を3D形状計測できる
●45度までの傾斜があるものの形状測定が可能です
●キズや深い穴の欠陥も検出可能です
●円筒面の形状計測や画像取得も可能です   

レーザ走査を用いた初めての干渉計測
 光沢紙程度の反射で干渉縞が出現。干渉縞で50nmの変化をとらえます
●倒立型レーザ走査干渉計(型番:LSMi-7000)
  サンプルをガラス面に置けば、簡単に干渉縞計測可能。
  走査範囲は30mm×50mm、モニター上で拡大観察可能
  セラミックスなどの細い傷、研磨不良、欠けなどが検査可能
  干渉縞解析ソフトはオプション
●円筒用レーザ走査干渉計(型番:LSMi-7500)
  円筒の全面で干渉縞を観察可能、円筒の精密検査が可能
●正立型レーザ走査干渉計(型番:LSMi-8000)
  非接触で微細な干渉縞計測可能。
  交換レンズは、5mm、10mm、26mm走査レンズ、特注可能
  通常の共焦点レーザ走査イメージャとしても使用できます

これらを応用展開した機器
超広視野共焦点型・高分解能1μm 3D‐レーザ走査イメージャ
5×50mmの範囲を3D形状計測できる
●45度までの傾斜があるものの形状測定が可能です
●キズや深い穴の欠陥も検出可能です
●円筒面の形状計測や画像取得も可能です   
価格情報 お気軽に問合せください
価格帯 500万円 ~ 1000万円
納期 お問い合わせください
※ お気軽に問合せください
型番・ブランド名 干渉型 3D‐レーザ走査顕微鏡
用途/実績例 フィルム基材、セラミック基材 などの傷検査

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比類なき高視野・高分解能な干渉型3Dレーザー走査顕微鏡

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

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