株式会社ワイ・ドライブ

FPD各種部材、光学欠陥検査装置、比類なき広視野

最終更新日: 2018/11/08

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FPD各種部材、光学欠陥検査装置、比類なき広視野 従来比5倍高速・高解像度、超広視野共焦点型・高分解能1μm

超広視野共焦点型・高分解能1μm、微小欠陥検査レーザ走査イメージャ
従来の顕微鏡光学系やSEMなどは狭い領域を高解像度で観察できるが、広い領域を簡便に観察できない。この課題をレーザ走査イメージャが解決します。 50×50mm範囲を3D形状計測できる 計測時間:1μm分解能 約35秒 5μm分解能 約10秒 ●計測幅:0.8μm 深さ:5nm
●最大45度傾斜で、形状測定が可。 ●キズや深い穴の欠陥も検出可。

レーザ走査イメージャの特徴
・従来の顧微鏡やCCDカメラやラインセンサの欠点を克服した 新しい観察装置(照明装置がいらない)
・広い観察領域(顕微鏡の100倍以上)と長いWDを持つ新開発専用走査レンス
・コントラストの高いレーザ共焦点方式光学ユニット
・レーザ共焦点顕微鏡光学系では初のラスター走査方式(長く大きな画像で大面積の画像を取得できる、マルチスキャン機能搭載)
・概略仕様
走査分解能が高い(1走査最大20000点)走査スピード4000ライン/秒
レーザはLD405nmを使用(650、830nmもあり)
・パソコンモニター上で拡大画像が見られる始めての装置です

超広視野レーザ走査イメージヤ原理図(レーザ顕微鏡と同等な共焦点光学系を用い、ポリゴンミラー走査と新開発の走査レンズで高速化と超広視野を実現しています)
価格帯 1000万円 ~ 5000万円
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 FPD各種部材、光学欠陥検査装置
用途/実績例 レーザ走査イメージャの用途

透明フィルムやガラス等の表面欠陥観察と検出
セラミックスなどの微小クラック欠陥の検出
蒸着膜の剥離などの観察
小径レンズ、小型金型の非接触形状計測大きい範囲の精密3Dデータの取得
微小な面の反りの精密計測
大きな範囲の精密な干渉縞での計測、傷検査その他、光学顕微鏡では見にくい対象物の観察

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