■ポイント
MEMSの定義も時代とともに流動化
多種材料に展開していく可能性、高まる
・総論:シリコン基板上に微細加工技術で集積化したデバイスとして発展
・材料:ナノテク、バイオ技術の融合により機能や複合的な機能を有したデバイスの出現を促す
・微細加工技術:ナノプロセス技術との融合により、より微細で高度な加工が可能
・ファウンドリー:状況の変化に応じて、生産能力を分配/シフト
・デバイス:幅広い分野における多様な製品の高付加価値化を支えるキーデバイス
・システム:アプリケーションに直結した部分に注目
※月刊誌「Yano E plus」(2022年6月号~2022年11月号)での関連特集をベースに編集、市場数値なども抜粋
発刊日:2022/12/19 体裁:A4 / 240頁
価格(税込):165,000円(本体価格:150,000円)
基本情報
MEMS製品は機械・電子・光・化学などの多様な機能の集積化デバイスとなっている。すでに半導体分野などで確立されたSi微細加工製造技術をベースとして活用しているが、マルチスケールの視点で最終製品を見つめ直し経験的な材料技術の蓄積をうまく利用することにより、社会に貢献する革新的な機能性マイクロデバイスが実現できると期待されている。今後は従来の枠組にとらわれず、さらに多様化してゆく道を辿ることが予想されるため、参入各社は当該分野での需要獲得に注力している。
本レポートではこのようなMEMS技術市場にフォーカスする。これらの分野はその要求特性として、コストよりも性能が重視される傾向が強いことから、特に次世代技術について着目したい。
■構成
第1章 総論
第2章 材料
第3章 微細加工技術
第4章 デバイス
第5章 システム(需要分野)
第6章 ファウンドリー
発刊日:2022/12/19 体裁:A4 / 240頁
価格(税込):165,000円(本体価格:150,000円)
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