最終更新日:
2023-01-06 15:11:52.0
ファインパターンのパターン間のパーティクルの除去に効果的
基板・フィルムブラシ洗浄機 「VSC-727」は、特殊ブラシにより、パターン間の形状にフレキシブルに対応可能です。
粘着ローラーと違いファインパターンのパターン間のパーティクルの除去に効果的。
吸着コンベアを採用し薄物基板も安定して搬送します。
【特徴】
○ブラシユニットの脱着が工具無しで簡単に行えます
○ギャップアジャスタを搭載し60μ~3.2mmの基板に対応
詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
基本情報
【特徴】
○特殊ブラシにより、パターン間の形状にフレキシブルに対応可能
○ファインパターンのパターン間のパーティクルの除去に効果的
○薄物基板に対応
○吸着コンベアを採用し薄物基板も安定搬送
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