ハイウィン株式会社

HIWINウエハ搬送ロボット【RWシリーズ】

最終更新日: 2020/03/25
高精度&高剛性! 2-12インチ対応のウエハ搬送ロボット【RWシリーズ】

自社製DDモータを採用し、高精度&高剛性が特長。
2-12インチウエハに対応し、繰返し位置決め精度は±0.02mmでタクトタイム短縮が期待できるスペックです。ギアなしで経年劣化が少ない設計、また部品点数も少ないためメンテナンス工数も軽減されます。
高性能とリーズナブルを両立するロボットは、ウエハ搬送にとどまらない、PCBやガラス基板搬送用途のカスタム対応のほか、ロボット自体の搬送軸も仕様に合わせてご提案します。

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基本情報

シングルアーム/ダブルアーム
アーム長 135mm/185mm
エンドエフェクタは真空吸着、把持、反転の各方式に対応。

価格帯 その他
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 HIWIN ハイウィン ウエハ搬送 ロボット DDモータ
用途/実績例 半導体、パネル、基盤関連産業での搬送に

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