最終更新日:
2020-06-01 13:04:14.0
TOF-SIMSの分析感度はppmオーダーと高感度であるため、微量汚染の分析に有効です！
再現実験により、Siウエハ上に水玉状の汚染物を作成した事例のご紹介です。
同じ位置でSEM-EDXとTOFSIMSによる測定を行い、イメージマップの比較を
行いました。
TOF-SIMSイメージマップではウォーターマークとその周囲に有機物（CH,CN）、
Na、K、が検出されました。
ウォーターマークの周囲は光学像、SEM像及びEDX分析においても汚染と
思われるものが確認できないが、TOF-SIMSイメージマップでは微量の汚染物が
付着していることがわかりました。
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