株式会社アイテス

超音波顕微鏡『SAM』

最終更新日: 2022-04-05 16:41:54.0
非破壊にて観察が可能!内部状態、密着性状態の不具合検出に威力を発揮!

当社が取り扱う、超音波顕微鏡『SAM(Scanning Acoustic Microscope)』を
ご紹介いたします。

半導体パッケージ、基板、電子部品等の内部状態、密着性状態の
不具合検出に大変威力を発揮します。

非破壊にて観察が可能で、試料に入射された超音波の反射波より、
剥離等の検出ができます。

【仕様(抜粋)】
■パルサーレシーバー:500MHz
■観察手法:反射法/透過法 両観察手法に対応
■音響レンズ/反射法:15,25,30,50,80,100,230MHz
■音響レンズ/透過法:15,25,30,50,100MHz

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報

【その他の仕様】
■最大測定範囲:314mm×314mm 最小ピッチ:0.5μm
■画像取得数(1スキャン):100枚(ゲート)

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 【用途】
■半導体パッケージ、基板、電子部品:接合界面の剥離、クラック、バンプ接合
■樹脂、セラミック、金属材料:剥離、クラック、ボイド
■接着材料:接着性観察、充填性観察
■貼り合わせウェハー:ボイド、密着性観察

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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