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◆［EMS］エミッション顕微鏡法 ◆［OBIRCH］光ビーム加熱抵抗変動法 ◆ロックイン発熱解析法
OBIRCH分析（光ビーム加熱抵抗変動法）
OBIRCHは、光を当てることによって発生する欠陥箇所の熱により、抵抗が変化することを利用して、異常箇所の特定を行う手法です
最終更新日：
2023-04-20 10:55:22.0
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