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［XRD］X線回折法

XRDは、回折パターンから試料の結晶構造情報を得る手法です。

最終更新日： 2023-03-27 16:47:49.0

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EBSD分析（電子後方散乱回折法）

容易に広い領域の結晶情報を得ることが可能

最終更新日： 2016-10-31 12:13:22.0

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［LC/MS］液体クロマトグラフィー質量分析法

イオンを検出器で検出し、定性・定量をおこなう分析手法です

最終更新日： 2016-08-24 14:17:43.0

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［AFM］原子間力顕微鏡法

ナノスケールの凹凸形状を三次元的に計測

最終更新日： 2016-10-21 14:43:48.0

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［FT-IR］フーリエ変換赤外分光法

数十μm角程度の領域の測定が可能

最終更新日： 2023-03-27 15:38:24.0

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［Raman］ラマン分光法

試料の分子構造や結晶構造に関する情報を得る

最終更新日： 2023-03-27 15:36:03.0

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EMS分析（エミッション顕微鏡法）

故障箇所を迅速に特定

最終更新日： 2023-04-14 11:35:39.0

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［GC/MS］ガスクロマトグラフィー質量分析法

有機化合物の定性・定量を行う分析手法です

最終更新日： 2016-09-12 10:23:16.0

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［XRR］X線反射率法

XRR：X-ray Reflectivity

最終更新日： 2023-03-27 16:06:08.0

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［TOF-SIMS］飛行時間型二次イオン質量分析法

試料表面の構造解析を行う手法です。他の分析装置に比べ表面に敏感であることから、最表面の有機汚染の同定などに適した手法です

最終更新日： 2016-09-12 09:36:40.0

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［UPS］紫外光電子分光法

試料表面の組成の定性・定量や仕事関数評価に

最終更新日： 2016-02-18 13:49:39.0

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［SAXS］X線小角散乱法

・ナノスケールでの周期構造・配向性を評価可能

最終更新日： 2016-02-18 12:53:18.0

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［SCM］［SNDM］

キャリア分布を二次元的に可視化

最終更新日： 2019-03-20 10:34:17.0

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白色干渉計測法

非接触・非破壊で3次元測定可能

最終更新日： 2016-02-12 11:31:31.0

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分析訪問セミナー

分析のセミナーを無償にて行います！

最終更新日： 2024-05-28 13:47:29.0

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［ICP-MS］誘導結合プラズマ質量分析法

導結合プラズマ（ICP）を励起源として用いた無機元素分析の手法です

最終更新日： 2023-03-07 17:02:53.0

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［TG-DTA/TG-DTA-MS］示差熱天秤-質量分析法

サンプルを加熱することによって生じる重量変化・示差熱・熱量および揮発成分の質量を測定

最終更新日： 2023-03-27 16:16:32.0

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［EBIC］電子線誘起電流

試料内部の電界構造（半導体の接合構造）に関する情報を得ることができる手法

最終更新日： 2016-02-18 13:30:58.0

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［SEM-EDX］エネルギー分散型X線分光法（SEM）

電子線照射により発生する特性X線を検出し、エネルギーで分光することによって、元素分析や組成分析を行う手法です

最終更新日： 2016-02-18 13:26:38.0

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［TEM-EELS］電子エネルギー損失分光法

電子が薄片試料を透過する際に原子との相互作用により失うエネルギーを測定することによって、物質の構成元素や電子構造を分析

最終更新日： 2016-02-18 13:38:29.0

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［SIM］走査イオン顕微鏡法

高分解能（加速電圧30kV：4nm）でのSIM像観察が可能

最終更新日： 2016-02-18 13:42:34.0

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［SSRM］走査型広がり抵抗顕微鏡法

ナノメートルレベルでの局所抵抗測定が可能

最終更新日： 2023-04-14 11:47:27.0

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［FIB］集束イオンビーム加工

FIBは、数nm～数百nm径に集束したイオンビームのことで試料表面を走査させることにより特定領域を削ったり成膜することが可能です

最終更新日： 2018-07-20 17:00:20.0

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［SSDP用加工］基板側からの測定用加工

基板側からの測定ができるように基板を削って薄片化

最終更新日： 2016-02-18 11:11:12.0

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［IP法］Arイオン研磨加工

IP法は、研磨法の一種でイオンビームを用いて加工する方法です

最終更新日： 2016-04-07 09:35:00.0

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雰囲気制御下での処理

サンプル本来の状態を評価することが可能

最終更新日： 2016-02-18 10:46:03.0

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クライオ加工

やわらかいサンプルを冷却、硬化させ切削可能に

最終更新日： 2019-03-20 11:46:07.0

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【分析事例】トランジスタ（MOSFET）の拡散層分布評価

SCMによる特定箇所の拡散層評価

最終更新日： 2024-05-28 13:47:29.0

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【分析事例】CIGS薄膜太陽電池の結晶粒と抵抗評価

同一箇所における抵抗分布と結晶粒・結晶粒界評価

最終更新日： 2024-05-28 13:47:29.0

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【分析事例】CIGS薄膜太陽電池バッファ層界面の観察

超高分解能STEMによるZn(S, O, OH)/CIGS接合界面の結晶構造評価

最終更新日： 2016-02-12 11:43:09.0

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