一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

【分析事例】液晶パネルの異物・汚れ成分の同定・推定

最終更新日: 2016-02-09 12:10:54.0
ミクロンからセンチオーダーの異物・汚れをイメージとして捉えます

液晶パネルの量産化において、欠陥(異物・汚れ)を除去することが求められています。そこで、原因となる異物・汚れが何に起因するか調査することは、歩留まり向上に有効です。
液晶パネルの異物・汚れを評価した事例を紹介します。TOF-SIMSではμm~cmオーダーの洗浄残渣をイメージとして捉えることが可能です。また、標準スペクトルとの比較により、成分の推定が可能です。

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