一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

【分析事例】有機EL素子積層膜の膜密度・膜厚測定

最終更新日: 2016-08-25 14:21:15.0
X線反射率測定(XRR)で膜厚・密度の分析が非破壊で可能です

有機ELディスプレイは自発光原理による高輝度、高精細カラー、薄型化等の利点を活かし、実用化が進みつつあります。有機ELデバイスは有機膜を積層させて作製しますが、有機膜積層状態での有機膜分析を行うことは困難でした。今回、XRR法を用いることによって、積層状態のまま、有機膜の膜厚測定および密度測定を行うことが可能となりました。
結晶質、非晶質を問わず、積層膜の膜厚および密度の分析が可能です。

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