一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

【分析事例】クロスハッチパターンの形状観察

最終更新日: 2024-05-28 13:47:29.0
高い垂直方向分解能で小さな凹凸を可視化可能

走査型白色干渉計(光干渉計)は、試料の表面形状を「高い垂直(Z)分解能(0.1nm)と広い(X-Y)測定視野(50μm~4.2mm)」で、高精度に非接触3次元測定を行うことが可能です。Si/SiGe積層試料表面(クロスハッチパターン)の形状観察の事例を紹介します。
平均粗さ(Ra)~1nmの形状評価可能です。

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