一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

【分析事例】SiO2中のアルカリ金属の深さ方向分布評価

最終更新日: 2016-02-08 14:21:34.0
試料冷却による高精度なアルカリ金属の分布評価

SiO2中のアルカリ金属の分布を一般的な分析条件で測定すると、測定に起因する電界などの影響により、深さ方向濃度分布に変化が生じることが知られています。
MSTではSIMS測定時に試料を冷却することでアルカリ金属の濃度分布変化を抑制し、より高精度に濃度分布を評価いたします。

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