一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

【分析事例】有機EL素子Alq3層/発光層界面の評価

最終更新日: 2023-04-17 12:26:41.0
TOF-SIMS深さ方向分析による劣化評価

輝度が劣化した素子の有機層を大気に曝さずに前処理から深さ方向分析までを行った結果、通電後のサンプルではAlq3/発光層界面に拡散が見られました。
Slope Mapping(図1)およびイオンスパッタを利用した深さ方向分析(図2)の両方で同様の結果が得られています。

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