一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

【分析事例】多元系金属微粒子の結晶構造観察

最終更新日: 2023-04-17 12:21:44.0
InGaZnO4粒子の超高分解能STEM観察

Csコレクタ(球面収差補正機能)付きSTEM装置により、超高分解能観察(分解能0.10nm)が可能となりました。原子量に敏感なHAADF※-STEM像は多元系結晶構造を直接理解できる有効なツールです。今回、酸化物半導体中微粒子の評価を行いましたので紹介します。異種材料界面・化合物界面の原子配列、粒界偏析評価などに応用できます。
※High-Angle Annular Dark-Field: 原子量(Z)に比例したコントラストが得られます。

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用途/実績例 酸化物半導体の分析です

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