一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

【分析事例】金属膜の高温XRD評価

最終更新日: 2017-08-11 15:09:30.0
昇温過程での相転移・結晶性変化を追跡評価

Pt をSi 基板にスパッタ蒸着させた試料に対して、昇温させながらOut-of-plane XRD, In-plane XRD 測定をそれぞれ行いました。両測定で、Pt(111) は500℃より高い温度ではピーク強度が増加し、半価幅が小さくなり、結晶化が進行していることが分かりました。
また、温度が上昇するにつれ、熱膨張によりピークが低角度側(格子間隔が広がる方向)にシフトしていることを確認できました。

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用途/実績例 太陽電池・酸化物半導体・LSI・メモリの分析です

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