一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

【分析事例】マイクロサンプリング法

最終更新日: 2024-05-28 13:47:29.0
FIB:集束イオンビーム加工

試料から直接小片を取り出し(マイクロサンプリング)、FIB加工を行うことができます。

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用途/実績例 形状評価・組成評価・同定・組成分布評価・結晶構造評価・故障解析・不良解析など

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