［SRA］広がり抵抗測定法 | 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

最終更新日: 2023-03-27 16:25:13.0

SRA：Spreading Resistance Analysis

SRAは測定試料を斜め研磨し、その研磨面に2探針を接触させ、広がり抵抗を測定する手法です。
SRP（Spreading Resistance Profiling）とも呼ばれます。

・導電型(p型/n型)の判定が可能
・深さ方向のキャリア濃度分布の評価が可能
・濃度約1E12～2E20 /cm3の広範囲のキャリア濃度の分析が可能
・約20μｍ×100μｍ以上の大きさのパターン試料の測定が可能
・ SRAとSIMSを組み合わせて評価を行う事で活性化率の評価が可能

MST HP

基本情報

斜め研磨した試料面に2探針を接触させ、直下の電気抵抗を測定します。
校正用標準試料の測定値と比較する事で、測定した拡がり抵抗を比抵抗（Ω・cm）に換算します。
さらに、比抵抗とキャリア濃度の関係を示すThurberの曲線を用いてキャリア濃度（/cm3）を算出します。なお、キャリア濃度と比抵抗には以下の関係があります。

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用途／実績例	・イオン注入サンプルの熱処理後の活性化率の評価・MOSデバイスの拡散層、エピタキシャル層の評価・エピタキシャル層のオートドープの評価・IGBT,FWDのキャリア濃度分布の評価

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