［AFM］原子間力顕微鏡法

最終更新日: 2016-10-21 14:43:48.0

ナノスケールの凹凸形状を三次元的に計測

AFMは、微細な探針で試料表面を走査し、ナノスケールの凹凸形状を三次元的に計測する手法です。

・金属・半導体・酸化物など、絶縁体から軟質の有機物まで幅広い試料を測定可能
・接触圧力が弱いタッピングモードを用いることで、試料ダメージを最小限に抑えることが可能

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基本情報

■使用する探針
シリコン単結晶ウエハを加工して作られた鋭い探針で試料表面を走査します。先端径は10nm未満にまで加工されています。

■タッピングモード
タッピングモードは、探針を約300kHzの高周波で強制振動させ、試料表面を走査します。
走査の過程で、探針が試料表面に近づくと探針の振動振幅は減少し、逆に遠ざかると増加します。この変化を打ち消して、ある一定の振動振幅を保つように探針の高さを制御しながら走査する方法です。
探針の位置は、探針にレーザーを照射し、その反射光をフォトディテクタで検出することで行います。

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用途／実績例	・基板（Si・化合物半導体・ガラス・金属・有機物など）の表面粗さ評価・薄膜（ポリシリコン・酸化物・金属・有機物など）の表面粗さ評価・MEMS の形状評価

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