一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

【分析事例】Si酸化膜・ITO膜中の「水」の評価

最終更新日: 2016-03-01 11:07:25.0
「重水(D2O)処理」を用いた水素の深さ方向分析

厚み1um以下の薄膜における水(H2O)の浸透性を、膜中の重水素(D)の分布を測定することで評価した事例をご紹介します。薄膜中にもともと水素(H)が存在する場合、水の影響による水素であるかを区別することが困難です。そこで、重水(D2O)による処理を行い、天然同位体である重水素の分布をSIMS※1にて深さ方向に測定しました。重水素の深さ方向分布を調べることで、水がどの深さまで浸透したかを推定することが可能です。

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用途/実績例 微量濃度評価・劣化調査・信頼性評価

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