一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

【分析事例】パワーデバイスのキャリア濃度分布評価

最終更新日: 2023-04-19 17:51:42.0
ドーパントの活性化率に関する評価が可能

SRA(Spreading Resistance Analysis)はサンプルを斜め研磨し、その研磨面に2探針を接触させ、広がり抵抗を測定する手法です(図1)。
キャリア濃度分布を評価することで、ドーパントの活性化状況についての知見を得ることが可能です。
一例として、パッケージ開封後のダイオードチップ表面中央部と外周部(図2)についてSRAを行った事例をご紹介します。

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