一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

【分析事例】SiC基板におけるSSDP-SIMS分析

最終更新日: 2016-03-10 10:16:55.0
SiC基板側からドーパント濃度プロファイルを取得可能

SiCパワーMOS FET(図1)において、ゲートパッド部下のSiC中にてドーパント元素であるAlの濃度分布を素子表面側から及び裏面側からSIMSで評価しました(図2)。
分析を進める方向に関係なく深さ約0.5μm以降の分布もよく一致することから、Alの濃度分布の広がりは測定起因でなく実際の元素分布を反映しているものと考えられます。
SiCなどの加工の難しい硬質基板でも、SSDP-SIMS分析が可能です。まずはお気軽にご相談ください。

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