一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

【分析事例】IGZO(粉末・バルク・薄膜)の組成・不純物分析

最終更新日: 2022-11-08 16:00:53.0
主成分及び金属不純物元素の定量分析

透明酸化物半導体であるIGZO薄膜はディスプレイ用TFT材料として研究開発が進んでいます。
IGZOは薄膜の組成や膜中の不純物量で特性が変化する材料であり、組成・不純物の情報を得ることは重要です。
今回は薄膜の原料であるIGZO粉末の主成分及び金属不純物元素量について、ICP-MSを用いて高精度に評価した事例を紹介します。粉末に限らずバルク・薄膜でも分析可能です。

基本情報

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用途/実績例 測定法:ICP-MS
製品分野:酸化物半導体
分析目的:組成評価・同定・微量濃度評価

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