最終更新日:
2022-11-08 16:00:53.0
主成分及び金属不純物元素の定量分析
透明酸化物半導体であるIGZO薄膜はディスプレイ用TFT材料として研究開発が進んでいます。
IGZOは薄膜の組成や膜中の不純物量で特性が変化する材料であり、組成・不純物の情報を得ることは重要です。
今回は薄膜の原料であるIGZO粉末の主成分及び金属不純物元素量について、ICP-MSを用いて高精度に評価した事例を紹介します。粉末に限らずバルク・薄膜でも分析可能です。
基本情報
詳しいデータはカタログをご覧ください
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | 測定法:ICP-MS 製品分野:酸化物半導体 分析目的:組成評価・同定・微量濃度評価 |
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