一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

【分析事例】DLC膜のsp2/(sp2+sp3)比高精度定量化

最終更新日: 2016-08-25 11:12:54.0
XAFSによる高精度解析

コーティング材料として幅広い分野で用いられているDLC(ダイヤモンドライクカーボン)膜はミクロな視点から見ると、ダイヤモンド構造に対応するsp3混成軌道有する炭素元素と、グラファイト構造に対応するsp2混成軌道を有する炭素元素が混ざり合って構成されています。
DLC膜の特性を決める一つの指標として、sp2/(sp2+sp3)比が挙げられます。XAFSによってDLC膜のsp2/(sp2+sp3)比の高精度定量化が可能です。

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