一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

【分析事例】はんだ剥離部断面のTOF-SIMS分析

最終更新日: 2022-11-11 14:23:57.0
微小領域の無機・有機物の分布評価が可能です

はんだの剥離原因究明には、はんだと基板界面の成分分析を行うことが有効です。
TOF-SIMSは元素分析と有機物・無機物の分子情報の解析が同時にできることや、イメージ分析が可能なことから、剥離部の評価に適した手法です。
本資料では、はんだの剥離部断面を分析した事例を示します。基板成分・樹脂成分・樹脂以外の有機成分の分布が確認できました。

基本情報

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用途/実績例 測定法:TOF-SIMS
製品分野:LSI・メモリ・電子部品
分析目的:故障解析・不良解析

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