一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

【分析事例】環境中微量金属元素分析

最終更新日: 2017-03-09 10:25:03.0
ICP-MS:誘導結合プラズマ質量分析法

クリーンルームや生産ラインなどの環境中に浮遊する金属元素は、製品に付着・混入することで、製品の性能悪化の原因となり得ます。ICP-MSでは、清浄なSiウエハで暴露試験を行い、表面に付着した金属元素量をpptレベルで測定することができます。
なお、事前に洗浄処理をしたSiウエハの貸出しも行っております。

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用途/実績例 環境の分析です

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