一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

【分析事例】コアシェル構造の3次元形状評価

最終更新日: 2016-02-10 15:08:36.0
高分解能EELSトモグラフィー

トモグラフィーは、試料を連続的に傾斜させて撮影した多数の投影像をコンピュータで画像処理し、3次元的内部構造を再構成する手法です。粒子など表面積・体積の算出も可能です。
Csコレクタ付きSTEMで0~180度のEELSマップ連続傾斜像を取得することにより、鮮明な3次元(3D)元素分布を構築することが可能となります。HAADF像の苦手とする平均原子番号の近い複合材料や回折コントラストの強い結晶質などへの適用が期待できます。

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