一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

【分析事例】ラマンマッピングによる応力評価

最終更新日: 2019-02-19 11:00:17.0
試料断面における応力分布を確認することが可能です

単結晶Siのラマンスペクトルのピークは、試料に圧縮応力が働いている場合は高波数シフト、引張応力が働いている場合は低波数シフトします。これにより、Siの応力に関する知見を得ることができます。
IGBT(絶縁ゲートバイポーラトランジスタ)の断面について、ラマンマッピングで応力の分布を確認した例を示します。

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