一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

【分析事例】セラミックス材料に含まれる微量金属の価数評価

最終更新日: 2019-02-19 11:10:07.0
ppmオーダーの微量金属も評価可能です

各種材料の特性を設計・制御するにあたって、母材に微量含まれている元素の種類や量、またそれらの存在状態を明らかにするのは非常に重要です。このうち元素の種類や量に関してはSIMS(二次イオン質量分析法)やICP-MS(誘導結合プラズマ質量分析法)などによって評価可能ですが、価数・化学結合状態などといった存在状態の評価には放射光を用いたXAFS(X線吸収微細構造)測定が有効です。本資料では測定例としてセラミックス材料に微量含まれるCeの価数を評価した事例をご紹介します。

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用途/実績例 LSI・メモリ・照明・酸化物半導体の分析です

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