固体分析　新サービス開始（GDMS）

最終更新日: 2023-05-15 11:37:48.0

「多くの元素を感度よく測りたい!」というご要望にお応えします。主成分から微量成分まで70元素以上の同時分析が可能です。

グロー放電質量分析計(GDMS)による新サービスを5/15(月)より開始しました。
・主成分からppbレベルの微量成分までの70元素以上の同時分析が可能
・従来困難であったC,N,Oをppmレベルで検出
・nm～数十µm以上の深さ方向分析が可能

MST GDMS新サービス開始のお知らせ

基本情報

ワイドギャップ半導体材料として用いられるSiCやGaNは耐薬性が高いため完全溶解することができず、化学分析での不純物分析が困難でした。
一方、ワイドギャップ半導体市場が年々増加する中で、多くの元素を感度よく測りたいという分析ニーズも増えてきています。そこで、MSTは前処理を不要とするGDMSを導入し、新たな不純物分析サービスを開始いたします。
また、内製化によるサービスのリニューアルとなりますので、従来より短納期でデータのご報告が可能となります。

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用途／実績例	<適用例> ・ワイドギャップ半導体分野　SiC、GaN、Ga2O3中の不純物分析・バッテリー分野　リチウム二次電池正極シートの活物質の元素分析・セラミックス分野　アルミナパウダーの不純物分析・鉄鋼業　　不純物分析による純度評価

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