最終更新日:
2023-03-27 16:47:49.0
XRDは、回折パターンから試料の結晶構造情報を得る手法です。
・結晶性物質の同定が可能
・結晶子サイズの評価 (数nm~100nm)が可能
・結晶化度の評価が可能
・配向性の評価が可能
・歪み量・応力の評価が可能
・非破壊で分析が可能
保有装置の特徴
・室温~1100℃までの加熱分析が可能
・ビーム径100μmまでの微小部測定が可能
・N2、He、Ar、真空での雰囲気制御が可能
基本情報
XRDの評価対象である『結晶』とは、物質を構成する原子あるいは分子・イオンの集団が3次元的に繰り返し配列した状態のことです。X線を結晶に照射すると、結晶中の電子によりX線が散乱されます(散乱X線)。散乱X線は干渉し合い、ブラッグの法則を満たしたときに強い回折X線が生じます。
格子面間隔をd、 X線の入射角をθとした場合、第1面と第2面の行路差(-)は 2d sinθ となります。行路差が入射X線の波長λの整数倍の時に散乱X線が強め合い、ブラッグの法則が成り立ちます。
価格情報 | - |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | ・ポリSi・金属膜・有機膜の結晶性・配向性評価 ・ポリSi・金属膜の結晶子サイズ測定 ・high-k膜・Niシリサイド(NiSi)・Tiシリサイド(TiSi)の結晶構造解析 ・リチウムイオン二次電池電極材料の劣化評価 |
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