最終更新日:
2022-11-24 11:23:53.0
高ダイナミック、超高安定性を誇るピエゾナノポジショナー。分解能0.05nm、高速応答
P-753 LISA（リニアステージアクチュエータ）高速ナノポジショナーは
リニアアクチュエータ、およびステージの両方としてご使用頂けます。
【特徴】
○汎用性の高い設計：フレクシャステージまたはアクチュエータ
○分解能0.05nm、高速応答
○静電容量センサーによる高リニアリティ
○摩擦のない精密フレクシャガイドにより、直進性の極めて高い動きを実現
○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命
○真空対応および非磁性バージョンを用意
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基本情報
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| 用途／実績例 | 応用例 ・ディスクドライブ検査 ・各種計測 ・ナノポジショニング ・走査型顕微鏡 ・フォトニクス／光集積回路 ・干渉計 ・バイオテクノロジー ・マイクロマニピュレーション |
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