最終更新日:
2024-10-10 13:54:55.0
ナノポジショニングのためのコンパクトな2軸ピエゾシステム。設置面積44x44mmのフレクシャガイドナノポジショニングシステム
P-611.1ピエゾステージは、設置面積わずか44 x 44mmの
フレクシャガイドナノポジショニングシステムです。
【特徴】
○コンパクト設計:設置面積44 x 44mm
○ストローク~120 x 120μm
○分解能~0.2nm
○低コストの機構/電子システム構成
○摩擦のない精密フレクシャガイドシステム
○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命
○X、ZおよびXYZバージョンを用意
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基本情報
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用途/実績例 | 応用例 ・光ファイバ位置決め ・半導体試験 ・マイクロ機械加工 ・マイクロマニピュレーション ・MEMS製造/試験 ・フォトニクス/集積光学 |
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