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P-611.XZ・P-611.2 XZおよびXZナノポジショナー

最終更新日: 2024-10-10 13:54:55.0
ナノポジショニングのためのコンパクトな2軸ピエゾシステム。設置面積44x44mmのフレクシャガイドナノポジショニングシステム

P-611.1ピエゾステージは、設置面積わずか44 x 44mmの
フレクシャガイドナノポジショニングシステムです。

【特徴】
○コンパクト設計:設置面積44 x 44mm
○ストローク~120 x 120μm
○分解能~0.2nm
○低コストの機構/電子システム構成
○摩擦のない精密フレクシャガイドシステム
○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命
○X、ZおよびXYZバージョンを用意

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

基本情報

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用途/実績例 応用例
・光ファイバ位置決め
・半導体試験
・マイクロ機械加工
・マイクロマニピュレーション
・MEMS製造/試験
・フォトニクス/集積光学

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