最終更新日:
2022-11-24 17:40:59.0
コンパクトナノポジショナー。クローズドループストローク100μmを特徴とする、ピエゾベースのナノポジショニングシステムです。
P-611.Zステージは、設置面積がわずかに44 x 44mm、
クローズドループストローク100μmを特徴とする、ピエゾベースのナノポジショニングシステムです。
【特徴】
○コンパクト設計：設置面積はわずか44 x 44mm
○ストローク～120μm
○分解能～0.2nm
○低コストの機構／電子システム構成
○摩擦のない精密フレクシャガイドシステム
○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命
○X、XY、XZ、およびXYZバージョンを用意
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基本情報
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| 用途／実績例 | 応用例 ・フォトニクス／集積光学 ・マイクロ機械加工 ・半導体試験 |
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