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⚫️MiniLab-WCF/WMF超高温ウエハー焼成炉2200℃ 一覧

安全性・操作性を重視した、『ウエハー焼成』専用R&D用超高温実験炉。

◆主な特徴◆
・習熟度を問わずどなたでも簡単に操作できます。
・自動シーケンス操作:試料設置後、煩雑な操作が必要無く、ボタン操作のみで真空引〜ベント〜ガス導入を実行
・上部扉より内部試料室にアクセス
・有効加熱範囲:φ2-φ8inch(その他サイズ可能)
・高真空雰囲気対応(ターボ追加:1x10-5Torr)
・インターロック8系統の状態が前面LEDランプで確認
◆基本仕様◆
・発熱体:CCコンポジット(WCF), タングステン(WMF)
・断熱材:グラファイト(WCF), タングステン/モリブデン(WMF)
・電源仕様:AC200V 70A 14KW(*8inch 2ゾーンの場合)
・Max2000℃
・使用雰囲気:真空・不活性ガス(WCF), 真空・不活性ガス・還元雰囲気(WMF)
・プログラム温調計、C熱電対
◆オプション◆
・2ゾーン制御(*6, 8inch)
・記録計
・ターボ分子ポンプ
・ウエハホルダー
◆主な用途◆
・SiC, GaN等電子デバイス
・他先端材料開発に応用

23件中1〜23件を表示中

表示件数
30件

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