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◆◇◆ R&D用小型縦型実験炉 TVF-110 ◆◇◆ 一覧

ローコスト 必要最小構成(手動制御)管状炉・拡散炉・熱CVD用加熱リアクター部として応用可能
小片試料〜3inch waferまでの小基板用 サセプタ手動昇降式縦型実験炉
大学・企業研究室での基礎実験用に最適な基礎実験用ローコスト版縦型炉
主な仕様】
・炉内温度Max1200℃, 試料最大温度Max950℃
・小片試料:数ミリサイズ〜3inchウエハーサイズまで対応
・基板枚数:1〜3枚程度
・石英サセプタ手動昇降式:停止位置目盛、クランパ付き
・炉芯管:Φ100 x Φ95 x 470L mm
・昇降:手動回転ハンドル
・温度調節:PIDプログラム温度調節計
・熱電対:2対式K熱電対x1(制御用、過昇温用)、Kタイプ素線(炉芯測温用)

24件中1〜24件を表示中

表示件数
30件

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