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安全性・操作性を重視した、『ウエハー焼成』専用R&D用超高温実験炉。
◆主な特徴◆
・習熟度を問わずどなたでも簡単に操作できます。
・自動シーケンス操作：試料設置後、煩雑な操作が必要無く、ボタン操作のみで真空引〜ベント〜ガス導入を実行
・上部扉より内部試料室にアクセス
・有効加熱範囲：φ6-φ8inch（その他サイズ可能）
・高真空雰囲気対応（ターボ追加：1x10-5Torr）
・インターロック8系統の状態が前面LEDランプで確認
◆基本仕様◆
・発熱体：CCコンポジット
・断熱材：グラファイト, タングステン/モリブデン
・電源仕様：AC200V 70A 14KW（*8inch 2ゾーンの場合）
・Max2000℃
・使用雰囲気：真空・不活性ガス, 真空・不活性ガス
・プログラム温調計、C熱電対
◆オプション◆
・2ゾーン制御（*6, 8inch）
・記録計
・ターボ分子ポンプ
・ウエハホルダー
◆主な用途◆
・SiC, GaN等電子デバイス
・他先端材料開発に応用
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